После того, как свет попадает в светоделитель, обычный свет можно разделить на следующие три типа в зависимости от длины волны:
Ближний УФ (ближний УФ): 200-380 нм
Вакуумный УФ< vuv=""> ： 10-200нм
Крайний ультрафиолет, крайний ультрафиолет (ExtremeUV 〈EUV〉): 1-10 нм
